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-第（53）章節
SSIII系列直流脈沖磁控濺射電源
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SSIII系列直流脈沖磁控濺射電源技術規格 |
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SS III系列磁控濺射電源工作于二級高頻變換模式，單極脈沖方式輸出，電源的電流與脈沖寬度獨立調整。脈沖方式工作時，濺射靶工作于高頻率間歇狀態，使靶材表面積累電荷有一定的泄放時間，有利于抑制靶材弧光放電及表面中毒，適用反應濺射膜層。 |
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電源功率范圍 |
6-120kW |
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輸入電源 |
AC380V±10％三相四線制 50-60HZ |
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輸出方式 |
脈沖 |
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脈沖寬度 |
10-90％ |
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輸出電壓 |
空載1000V[峰值電壓] |
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輸出特性 |
恒流/恒功率/恒壓 |
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滅弧時間 |
≤3μs |
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輸出穩定率 |
0.5％ |
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冷卻方式 |
6-12kW風冷 20-120kW水冷 |
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使用環境 |
環境溫度 0-40℃ |
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冷卻水 |
清潔 不含礦物質及其他可溶性物質 |
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通訊方式 |
模擬/RS485/RS232 |
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說明：電源的輸出特性可根據使用需要作相應調整 |
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